AERA 3030-07404 质量流量控制器

AERA 3030-07404质量流量控制器是半导体及精密制造工艺中用于精确测量和控制气体流量的核心部件设计上侧重高精度与高可靠性。中间15条特点采用热式传感器原理测量气体流量。支持多气体、多量程配置适用性强。气路底座采用316L不锈钢耐腐蚀性好。金属密封版本泄漏率极低。配备高速阀门响应时间通常在1秒以内。控制精度通常可达±1% F.S.。重复性优于±0.2% F.S.。采用旁路分流设计测量稳定。支持0-5V或4-20mA模拟信号控制。部分型号支持RS-485等数字通讯协议。长期零漂低于0.5% F.S./年。接口兼容VCR或Swagelok标准。工作温度范围5-45℃。适用于CVD、PVD、刻蚀等半导体制程。结构紧凑支持多方向安装。结尾总体而言AERA 3030-07404是一款性能稳定、精度可靠的质量流量控制器能够满足半导体及工业领域对气体流量精确控制的严格要求。