方形晶胞。

这是一个简单的二维光栅的案例它有两个周期的方形晶格。三维单元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一个位于衬底上的菱形(平行六面体)并被背景材料包围。示例中的材料选择为铬(菱形结构)、玻璃(基底)和空气(背景材料)。光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度S偏振光照明的场矢量P偏振光照明的场矢量后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。参数扫描Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表显示了反射和透射衍射级次的强度在脚本data_analysis/run_scan_width.m中,在一个固定的照明角度下其中图案宽度从150nm增至250nm。这将产生以下依赖关系